半導(dǎo)體“陶瓷心”，泰興“智造”！
江蘇集萃半導(dǎo)體陶瓷材料研究所是泰興高新區(qū)引進的新型研發(fā)平臺，由清華大學(xué)潘偉教授團隊領(lǐng)銜組建。平臺僅用7.5畝土地，就構(gòu)建起從粉體研發(fā)到精密加工的全產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)體系，為半導(dǎo)體裝備打造中國自主生產(chǎn)的精密陶瓷部件，裝上“中國心”。
在集萃半導(dǎo)體陶瓷材料研究所的陶瓷超精密加工室，技術(shù)人員正專注加工陶瓷靜電卡盤。該產(chǎn)品是半導(dǎo)體制造設(shè)備中的關(guān)鍵零部件，以往長期被國外企業(yè)壟斷。研究所不僅積極自主研發(fā)，還參與國家相關(guān)重大科技項目，目前已成功突破多項關(guān)鍵技術(shù)。
研究所總投資1.1億元，由省產(chǎn)研院、泰州市產(chǎn)研院、清華大學(xué)潘偉教授團隊及泰興高新區(qū)共同投資建設(shè)，聚焦先進陶瓷技術(shù)的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。核心團隊依托清華大學(xué)新型陶瓷和精細工藝國家重點實驗室，在“先進結(jié)構(gòu)陶瓷材料研究”和“精密陶瓷部件制備技術(shù)”方面處于國內(nèi)領(lǐng)先水平，已為國內(nèi)廠商實現(xiàn)部分精密先進陶瓷部件的進口替代。
未來，研究所將充分發(fā)揮技術(shù)研發(fā)與成果轉(zhuǎn)化優(yōu)勢，持續(xù)引進高層次人才，力爭每年申報發(fā)明專利5項以上，引進和孵化科技項目不少于4項，致力于成為新型陶瓷領(lǐng)域技術(shù)研發(fā)及產(chǎn)品開發(fā)領(lǐng)域的創(chuàng)新策源地，為我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供堅實支撐。 |
